[서울=뉴시스] 김경택 기자 = 에이루트는 반도체 장비 자회사 앤에스알시(NSRC)가 중국 대형 반도체 제조기업 A사의 생산공장(팹)에 적용되는 노광장비의 현지 셋업을 진행하고 있다고 29일 밝혔다.
회사 측에 따르면 앤에스알시는 지난 6월 중국 내 톱티어 반도체 리퍼비시 장비 전문 에이전트를 통해 A사로부터 ArF(불화아르곤) 노광장비의 설치·운영을 위한 기술용역을 수주한 바 있다. 해당 장비는 초미세 반도체 회로 패턴을 구현할 수 있는 전공정 장비로, i-line(아이라인)·KrF(불화크립톤) 장비 대비 고해상도 공정 대응이 가능한 게 특징이다.
앤에스알시는 지난 2024년부터 A사에 다양한 노광장비에 대한 기술용역을 제공 중이다. 노광장비는 정밀도와 셋업 안정성이 생산라인 운영에 직접적인 영향을 미치기 때문에 현지 설치와 기술 대응 역량이 핵심 경쟁 요소로 꼽힌다고 회사 측은 설명했다.
회사 관계자는 "현지 파트너 네트워크와 자체 엔지니어링 역량을 기반으로 중국 반도체 제조 고객사 대상 장비 공급과 기술용역 관련 신규 수주 확보에 나설 것"이라며 "이번 노광장비 셋업을 성공적으로 마무리해 현지 생산라인에 필요한 기술력을 입증하겠다"고 말했다.
◎공감언론 뉴시스 [email protected]
회사 측에 따르면 앤에스알시는 지난 6월 중국 내 톱티어 반도체 리퍼비시 장비 전문 에이전트를 통해 A사로부터 ArF(불화아르곤) 노광장비의 설치·운영을 위한 기술용역을 수주한 바 있다. 해당 장비는 초미세 반도체 회로 패턴을 구현할 수 있는 전공정 장비로, i-line(아이라인)·KrF(불화크립톤) 장비 대비 고해상도 공정 대응이 가능한 게 특징이다.
앤에스알시는 지난 2024년부터 A사에 다양한 노광장비에 대한 기술용역을 제공 중이다. 노광장비는 정밀도와 셋업 안정성이 생산라인 운영에 직접적인 영향을 미치기 때문에 현지 설치와 기술 대응 역량이 핵심 경쟁 요소로 꼽힌다고 회사 측은 설명했다.
회사 관계자는 "현지 파트너 네트워크와 자체 엔지니어링 역량을 기반으로 중국 반도체 제조 고객사 대상 장비 공급과 기술용역 관련 신규 수주 확보에 나설 것"이라며 "이번 노광장비 셋업을 성공적으로 마무리해 현지 생산라인에 필요한 기술력을 입증하겠다"고 말했다.
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