이솔, 반도체 EUV 공정 장비 제조 기업
"표준 채택시 국산 설비 시장 선점 기대"
[세종=뉴시스]손차민 기자 = 우리나라 중소기업의 반도체 장비 기술이 국제전기기술위원회(IEC)에 신규 국제표준안(NP, New Proposal)으로 제안됐다.
15일 산업통상자원부 국가기술표준원에 따르면 진종욱 국표원장은 이날 경기 화성시에 있는 국내 반도체 장비 기업 이솔(E-SOL)을 방문했다.
이솔은 반도체 극자외선(EUV) 공정에 사용되는 마스크 계측·검사 장비 및 펠리클(Pellicle)의 투과도 검사 장비 등을 제작·판매하는 EUV 장비 제조기업이다.
이솔은 산업부 소재부품개발기술사업을 수행해 펠리클 투과도 검사장비를 개발하고 해당 장비를 활용한 펠리클의 EUV 투과도 검사방법을 IEC에 신규 국제표준안으로 제안했다.
이번 표준안이 회원국의 투표를 통해 신규개발 항목으로 채택되고 향후 국제표준으로 발간된다면, 표준화된 펠리클 투과도 검사방법 정립으로 펠리클 품질 향상에 기여할 것으로 기대된다.
최승민 이솔 전무는 "국제표준안 제안으로 그동안의 기술개발 성과가 탄탄해지고 있다"며 "이번 표준안이 채택된다면 반도체 최첨단 공정에서 국산 설비가 시장을 선점할 수 있는 좋은 기회가 될 것으로 기대된다"고 말했다.
이에 진 원장은 "우리나라가 첨단 반도체 장비 분야로도 국제표준을 확대해 나가는 것은 고무적"이라며 "제안된 신규표준안이 국제표준으로 최종 발간될 수 있도록 기업과 전문가의 국제표준화 활동을 적극 지원하겠다"고 답했다.
◎공감언론 뉴시스 [email protected]
15일 산업통상자원부 국가기술표준원에 따르면 진종욱 국표원장은 이날 경기 화성시에 있는 국내 반도체 장비 기업 이솔(E-SOL)을 방문했다.
이솔은 반도체 극자외선(EUV) 공정에 사용되는 마스크 계측·검사 장비 및 펠리클(Pellicle)의 투과도 검사 장비 등을 제작·판매하는 EUV 장비 제조기업이다.
이솔은 산업부 소재부품개발기술사업을 수행해 펠리클 투과도 검사장비를 개발하고 해당 장비를 활용한 펠리클의 EUV 투과도 검사방법을 IEC에 신규 국제표준안으로 제안했다.
이번 표준안이 회원국의 투표를 통해 신규개발 항목으로 채택되고 향후 국제표준으로 발간된다면, 표준화된 펠리클 투과도 검사방법 정립으로 펠리클 품질 향상에 기여할 것으로 기대된다.
최승민 이솔 전무는 "국제표준안 제안으로 그동안의 기술개발 성과가 탄탄해지고 있다"며 "이번 표준안이 채택된다면 반도체 최첨단 공정에서 국산 설비가 시장을 선점할 수 있는 좋은 기회가 될 것으로 기대된다"고 말했다.
이에 진 원장은 "우리나라가 첨단 반도체 장비 분야로도 국제표준을 확대해 나가는 것은 고무적"이라며 "제안된 신규표준안이 국제표준으로 최종 발간될 수 있도록 기업과 전문가의 국제표준화 활동을 적극 지원하겠다"고 답했다.
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