반도체 공정 핵심 EUV 도입 최대 25일 단축…검사비 5억↓

[세종=뉴시스]이수정 기자 = 반도체 핵심 공정에 사용되는 극자외선(EUV) 장비의 국내 도입 절차가 간소화되면서 장비 도입 기간이 최대 25일 단축될 전망이다.

산업통상부는 2일 국무회의에서 글로벌 안전기준을 충족한 반도체 제조장비에 대해 고압가스 일반제조시설이 아닌 '특정설비' 기준을 적용하는 내용을 담은 '고압가스 안전관리법 시행령' 일부개정안이 의결됐다고 밝혔다.

이번 제도 개선으로 삼성전자와 SK하이닉스 등 국내 반도체 기업들은 EUV 장비 도입 시 검사 등에 소요되는 기간이 기존 34일에서 9일로 줄어들 것으로 예상된다. 해외 공인검사기관의 내압·기밀 검사 비용도 장비당 약 5억원 절감될 전망이다.

산업부는 이를 통해 첨단 제조장비를 적기에 도입하고 신속히 가동할 수 있어 국내 반도체 산업의 경쟁력 강화에 도움이 될 것으로 기대했다.

그동안 EUV 장비는 내부에 고압가스 배관과 장치가 포함돼 있다는 이유로 현행법상 '고압가스 제조설비'로 분류됐다. 이에 따라 장비를 설치할 때마다 기술검토와 검사를 받아야 해 장비 도입이 지연되고 기업 부담이 커진다는 지적이 제기돼 왔다.

산업부는 반도체 업계와 협의를 거쳐 글로벌 안전기준과 국내 안전관리 체계의 정합성을 검토한 결과 EUV 장비를 기존 '고압가스 제조시설'에서 '특정설비'로 전환하는 개정안을 마련했다.

개정안에 따라 EUV 장비는 특정설비로 지정돼 3년 주기의 공장심사와 종합공정검사를 받게 된다. 이를 통해 제조사의 제조공정과 품질관리 능력을 확인해 기존과 동등한 수준의 안전성을 확보한다는 설명이다.

산업부는 시행령과 함께 시행규칙 개정도 추진한다. 물과 세탁세제 대신 이산화탄소를 사용하는 친환경 액화 이산화탄소 세정설비가 국내 최초로 상용화될 수 있도록 맞춤형 검사기준을 신설하고, 위험성이 낮은 고압가스시설의 안전관리자 선임 기준도 현실에 맞게 정비할 계획이다.

이번 개정안은 다음 주 중 공포 후 즉시 시행될 예정이다.

김정관 산업부 장관은 "이번 법령 개정은 안전 확보와 첨단산업 경쟁력 강화를 동시에 달성하기 위한 대표적인 규제혁신 사례"라며 "앞으로도 글로벌 기준에 부합하는 합리적 안전관리 체계를 통해 첨단산업 투자를 적극 지원해 나가겠다"고 밝혔다.


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