기후부, 초순수 실증설비 민간 기술이전…반도체 공정 활용

[세종=뉴시스]여동준 기자 = 기후에너지환경부가 반도체 공정에 필수적으로 활용되는 고순도 공업용수(초순수) 실증설비 기술을 민간으로 이전했다.

기후부는 18일 경북 구미 소재 SK실트론 구미사업장에서 초순수 생산 국산화 기술개발 사업 성과물인 초순수 실증설비 기술이전을 위한 성과 활용 협약식을 개최했다고 밝혔다.

초순수는 물속의 불순물을 극미량 수준까지 제거한 물로, 반도체 표면의 오염물질을 씻는 데 필수적으로 사용되는 핵심 공정용수다.

수중의 이온물질 농도를 1ppt(1조분의 1) 이하, 용존산소 등 기체 농도를 1ppb(10억분의 1) 이하 수준으로 관리해야 해 최고난도의 수처리 기술이 요구된다. 그동안은 일본·미국 등 해외 기업이 생산 기술을 주도해 왔다.

기후부는 기술 의존도를 낮추고 국내 물산업 경쟁력을 강화하기 위해 2021년부터 초순수 생산기술 국산화 사업을 추진해 왔다.

설계·시공·운영 전 과정에 국내 기술이 적용된 초순수 실증설비는 수요처인 SK실트론 구미사업장에 설치해 그 성능을 실증했다.

이번 설비는 자외선 산화장치를 통한 유기물 제거, 탈기막을 활용한 용존산소 제거, 이온교환수지를 통한 이온 제거 및 수질 고도화 등 초순수 제조의 핵심 공정에 국내 기업이 개발한 주요 장치 및 소재를 적용해 장기간 운영 실적을 확보했다.

기술이전으로 생산된 초순수는 에스케이실트론 구미사업장의 반도체용 웨이퍼 생산공정에 공급된다.

이는 국내 설계 기술로 생산된 초순수가 실제 반도체 제조공정에 공급되는 최초 사례로, 국내 기업의 현장 적용 실적 확보와 함께 초순수 시장 진입 기반을 마련했다는 점에서 의미가 크다.

반도체 칩과 전자회로를 제작하기 위해 사용하는 얇은 원형의 실리콘 판인 웨이퍼는 핵심 소재로서 극미량 불순물까지 엄격하게 관리되는 초고순도 공업용수가 필수적으로 요구된다.

이번 성과를 통해 그간 해외 기술에 의존해 온 초순수 분야의 공급망 안정성을 강화하고, 국내 물기업의 기술 경쟁력 및 산업 생태계 확대에도 기여할 것으로 기대된다.

아울러 기후부는 기후위기로 인한 공업용수 부족에 선제적으로 대응하고 안정적인 초순수 공급체계를 구축하기 위해 초순수 생산 전 공정의 국산화와 하수 재이용 기반 초순수 생산을 통한 원수 다변화 기술개발도 추진하고 있다.

김지영 기후부 물이용정책관은 "이번 기술이전은 초순수 기술의 국산화를 넘어 실제 산업현장 적용으로 이어진 중요한 성과"라며 "반도체 등 첨단산업의 대규모 투자가 초순수 등 국내 물산업 발전으로 이어질 것"이라고 밝혔다.


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