그린광학, HBM 검사장비에 초정밀 광학렌즈 공급

기사등록 2026/05/21 09:50:13

[서울=뉴시스] 김경택 기자 = 초정밀 광학 솔루션 전문기업 그린광학은 국내 반도체 전·후공정 검사장비 전문기업의 첨단 고대역폭메모리(HBM) 패키징 검사장비에 초정밀 광학렌즈를 공급 중이라고 21일 밝혔다.

회사 측에 따르면 그린광학의 초정밀 광학렌즈가 적용된 검사장비는 글로벌 반도체 톱티어 기업들의 HBM 양산 라인에 공급된다. 해당 장비는 고단 적층 구조로 불량 판별이 까다로운 HBM 공정에서 초미세 결함을 정밀하게 포착해 수율 개선을 지원하는 핵심 장비로 평가된다.

그린광학이 광학렌즈를 공급 중인 파트너사는 웨이퍼 미세 결함 검사, 3D 적층 구조 검사, 첨단 패키징 공정 검사 분야에서 기술력을 보유한 국내 대표 반도체 검사장비 기업이다. 특히 HBM, 3D 낸드, 차세대 패키징 등 고난도 공정에서 발생하는 초미세 결함을 검출하는 장비 라인업을 확대하고 있으며 글로벌 반도체 고객사의 양산 라인 진입을 통해 기술 신뢰성을 검증받고 있다고 회사 측은 설명했다.

그린광학 관계자는 "초정밀 광학렌즈 공급은 글로벌 반도체 기업 생태계에 진입하며 회사의 기술력을 인정받은 결과"라며 "이미 양산 장비 탑재를 통해 실질적인 매출이 발생하기 시작한 만큼, 첨단 반도체 부문을 중심으로 글로벌 초정밀 광학 시장의 선도 기업으로 도약하겠다"고 말했다.


◎공감언론 뉴시스 [email protected]
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그린광학, HBM 검사장비에 초정밀 광학렌즈 공급

기사등록 2026/05/21 09:50:13 최초수정

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