포토리소그래피를 통해 포토레지스트 패턴을 제작하고 여기에 산화막을 증착해 다공성 탄소소재를 얻는 과정을 묘사하는 개념도. 사진 서강대 *재판매 및 DB 금지
[서울=뉴시스]허서우 인턴 기자 = 서강대는 화공생명공학과 문준혁 교수 연구팀이 고성능 반도체 공정을 이용해 탄소 소재를 합성하는 기술을 개발했다고 28일 밝혔다.
지난 18일 해당 연구성과는 에너지 분야 국제 전문학술지 '에너지 스토리지 머티리얼스'(Energy Storage Materials, 임팩트팩터: 20.831)'에 게재됐다.
반도체 공정은 정밀한 반도체 소자를 만드는 여러 과정으로 대표적으로 포토리소그래피, 산화, 증착 등이 있다. 문준혁 교수 연구팀은 반도체 공정을 활용해 에너지 저장 소자에 전극으로 활용되는 다공성 탄소 소재를 합성하는 데 성공했다.
문준혁 교수는 "반도체 공정 기술을 반도체 소자가 아닌 에너지 소재 합성에도 적용할 수 있으며, 이렇게 만들어진 소재를 소퍼커패시터 및 리튬공기전지에 직접 실증했다는 데 그 의의가 있다"고 전했다.
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