[올댓차이나] 中, 침지형 DUV 노광장비 343대 확보…"첨단 반도체 생산 활용"

[서울=뉴시스]이재준 기자 = 중국이 미국의 첨단 반도체 제조장비 수출 규제에도 첨단 반도체 생산에 활용할 수 있는 침지형 심자외선(DUV) 노광장비 수백 대를 확보했다고 사우스 차이나모닝 포스트(SCMP)와 중앙통신이 4일 보도했다.

매체는 워싱턴 소재 연구기관 기술·국가통치역량센터(CTS) 최신 보고서를 인용해 2026년 초반 시점에 중국 기업이 소유한 반도체 공장에 침지형 DUV 노광장비 343대가 설치됐다고 추정했다.

CTS 보고서에는 미국 전직 수출통제 담당 관료와 백악관 및 상무부에서 기술정책 자문관을 지낸 인사들이 참여했다.

미국은 중국에 첨단 극자외선(EUV) 노광장비를 수출하지 못하도록 규제하고 있다.

이에 중국 반도체 제조업체들은 미국 수출통제 대상에 포함되지 않은 침지형 DUV 장비를 활용해 첨단 반도체를 생산해왔다는 분석이다.

CTS는 중국 기업 소유 반도체 공장에 설치된 것으로 보이는 침지형 DUV 343대 가운데 270대 정도가 네덜란드 반도체 장비업체 ASML의 트윈스캔 NXT:1980i 시스템이라고 추산했다.

침지형 DUV는 EUV보다 기술 수준이 낮지만 장비를 조정하면 7나노미터급 로직 반도체 생산에 활용할 수 있다.

인공지능(AI) 프로세서에 필요한 고급 메모리 생산에도 활용 가능하며 화웨이(華為技術)의 어센드(昇騰) 시리즈 AI 프로세서에 필요한 반도체 생산에도 쓰일 수 있다고 CTS는 설명했다.

중국 반도체 공장들이 2024년 약 90대 NXT:1980i를 확보하고 2025년에는 89대를 추가로 반입했다고 한다. 이들을 구매하는데 모두 130억 달러(약 17조5370억원) 넘게 지출했다.

네덜란드 정부는 2023년 9월부터 ASML NXT:2000i, 그보다 사양이 높은 침지형 DUV 장비를 수출할 때 허가를 받도록 했다.

이후 NXT:1980i에도 수출허가 요건을 확대했지만 해당 장비는 개별 사안에 따라 수출 승인을 받을 수 있다.

CTS는 현행 수출통제 방식이 규제에 구멍을 남긴다고 침지형 DUV 장비 수출을 전면 금지해야 한다고 촉구했다.

상대적으로 성숙한 공정에 사용되는 장비로 판매됐더라도 다른 생산라인으로 옮기거나 조정해 첨단 반도체 생산에 활용할 수 있다는 이유에서다.

아울러 미국이 네덜란드와 수출통제를 조율하거나 미국 기술을 사용하는 외국산 장비까지 미국의 수출통제 대상에 포함하는 방안도 제시했다.

ASML의 중국행 장비 출하 비중은 수출통제 강화 이후 낮아지는 흐름을 보였다.

중국이 ASML의 장비 판매 매출에서 차지하는 비중은 2024년 41%에 달했다가 2025년에는 33%로 저하했다. 2026년 1분기와 2분기에는 각각 19%와 14%로 더 떨어졌다.


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