가천대, '수차보정 투과전자현미경실' 개소…83억원 투입

[성남=뉴시스] 신정훈 기자 = 가천대학교가 첨단 반도체 소재와 소자를 원자 수준에서 분석할 수 있는 연구 인프라를 구축하고 차세대 반도체 연구 역량 강화에 나섰다.

가천대 바이오나노융합소재 연구센터는 교육부로부터 83억원을 지원받아 수차보정 투과전자현미경(Cs-corrected TEM)을 도입하고 대학 제3학생생활관에서 현미경실 개소식을 열었다고 11일 밝혔다.

이번에 구축한 인프라는 국내 최초로 서브나노미터급 반도체 소자의 특성을 넓은 영역에서 분석하는 매핑과 실제 소자가 작동하는 상태에서 변화를 관찰하는 오퍼란도(Operando) 연구가 가능한 것이 특징이다.

연구센터는 수차보정 주사투과전자현미경(Cs-corrected STEM)을 중심으로 에너지 분산 분광기(EDS), 전자 에너지 손실 분광기(EELS), 주사 세차회전 전자회절(SPED), 전자빔 유도 전류 측정 시스템(EBIC) 등 첨단 분석 장비를 구축했다.

이를 통해 원자 수준의 구조 분석부터 대면적 특성 매핑, 실제 소자 작동환경 분석까지 연구 범위를 넓혀 차세대 반도체 소자와 분석기술 개발, 산학연 공동연구에 활용할 계획이다.

이번 인프라 구축은 연구센터가 지난해 교육부의 '지난해 인프라 고도화 지원과제'에 선정되면서 추진됐다.


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