DB하이텍 유휴장비, 공공 연구소로 이전…반도체 생태계 선순환 시동

[서울=뉴시스]심지혜 기자 = 정부가 기업의 반도체 유휴장비를 공공나노팹으로 이전해 재활용하는 사업에 본격 착수한다. DB하이텍이 사용하던 8인치 파운드리 장비를 나노종합기술원과 나노융합기술원으로 옮겨 연구개발과 기술실증에 활용한다.

과학기술정보통신부는 6일 충북 음성 DB하이텍 상우캠퍼스에서 ‘DB하이텍-모아팹 중고장비 이전 협약식’을 개최했다고 밝혔다.

과기정통부는 올해부터 2033년까지 총 750억원을 투입하는 ‘모아팹 중고장비 활용 지원사업’을 추진한다. 전국 공공나노팹을 연결한 모아팹 플랫폼을 통해 기업 유휴장비의 이전·구축 비용을 지원하고 노후화된 공공 연구시설을 개선한다는 계획이다.

과기정통부는 장비를 넘겨받은 모아팹 참여 공공나노팹의 연구시설과 전문인력을 활용해 산·학·연 연구개발과 기술실증, 사업화 연계 기능을 강화할 예정이다. 모아팹 참여기관도 지속 확대해 전국적인 공동 활용 체계를 구축·고도화할 방침이다.

이번 협약은 지난해 3월 과기정통부와 삼성전자, SK하이닉스, DB하이텍이 체결한 업무협약의 후속 조치다. DB하이텍은 자사가 보유한 8인치 파운드리 유휴장비 2종을 나노종합기술원과 나노융합기술원에 무상 이전한다.

나노종합기술원에는 8인치 고온 열처리 증착장비가 구축된다. 초소형 정밀부품과 음향 마이크, 압력·적외선 센서 등에 얇고 균일한 구조막을 입히는 장비다. 20년 이상 사용한 기존 장비를 교체해 안전성을 높이고 1회 가동당 처리량을 25개에서 50개로 확대할 수 있을 것으로 기대된다.

나노융합기술원에는 8인치 건식 식각 및 표면 코팅 장비가 들어간다. 차세대 피지컬 인공지능(AI)용 미세 센서 부품을 분리하고 표면에 보호막을 입히는 장비로, 공정 단계를 줄이고 부품 품질과 완성도를 높이는 데 활용된다.

이날 구혁채 과기정통부 제1차관과 참석자들은 DB하이텍 상우캠퍼스의 8인치 파운드리 생산라인을 둘러보고 민관 협력 기반의 반도체 생태계 강화 방안과 공공나노팹 연구성과의 산업 적용, 소재·부품·장비 테스트베드 지원 방안 등을 논의했다.

구 차관은 "DB하이텍의 중고장비 이전은 민관이 힘을 모아 반도체 생태계의 선순환 구조를 만든 상생 협력 모델"이라며 "공공나노팹 연구지원 인프라를 고도화하고 첨단 반도체·나노 기술 혁신과 전문인력 양성을 뒷받침하겠다"고 말했다.


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