[서울=뉴시스] 김경택 기자 = 반도체기판 검사 전문기업 기가비스는 '초점 변화 기반 3차원 측정기에서 최적의 스캔 범위 자동 설정' 특허를 취득했다고 22일 밝혔다.
이번 특허는 기가비스의 핵심인 AOR(자동광학수리기) 설비에 장착돼 불량 수리 후 데미지를 3차원으로 분석하는 데 사용할 수 있는 기술이다.
AOR은 불량회로가 있는 기판을 폐기하지 않고 양품으로 활용해 제품 수율을 향상시킬 수 있는 설비다. AOR은 기술 고도화가 매우 어려운 설비로 세계적으로 기가비스를 포함해 두 회사만 해당 설비를 제작할 수 있다.
강해철 기가비스 대표는 "초점 변화 기반 3차원 측정 방식으로 미세 패턴이 밀집된 영역의 정확한 형상 분석을 위해서는 반드시 필요한 기술이 특허로 등록됐다"며 "핵심 기술 보호 및 3차원 측정기의 기술 경쟁력을 확보하게 됐다"고 말했다.
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