【포항=뉴시스】강진구 기자 = 포스텍(총장 김도연)은 창의IT융합공학과 백창기(사진) 교수·김기현 교수·박사과정 조현수 씨 연구팀이 산업 현장에서 5초만에 극미량의 불소와 불산 등 유독물질을 감지할 수 있는 원천센서기술을 개발했다고 17일 밝혔다.2018.10.17.(사진=포스텍 제공) [email protected]
【포항=뉴시스】강진구 기자 = 포스텍(총장 김도연)은 창의IT융합공학과 백창기 교수·김기현 교수·박사과정 조현수 씨 연구팀이 산업 현장에서 극미량의 불소와 불산 등 유독물질을 5초만에 감지할 수 있는 원천센서기술을 개발했다고 17일 밝혔다.
불소와 불산은 철강과 화학, 반도체, 디스플레이 등 다양한 산업 전반의 생산 공정에서 핵심 물질로 활용되고 있지만 대표적인 유독물질이기도 하다.
지난 2012년 구미의 불산 누출사고는 인명 피해는 물론 반경 700m 이내 지역이 초토화되는 무서운 결과를 초래했다.
이처럼 불소·불산은 누출되자마자 바로 조치해야 확산을 막을 수 있기 때문에 적은 양의 노출도 바로 감지할 수 있는 민감한 센서 개발이 꼭 필요하다는 지적을 받아 왔다.
그 동안 국내에서는 무색무취로 조기 감지가 쉽지 않은 불소와 불산을 감지하기 위해 다결정 감지막과 산화물 반도체 소자를 활용했다.
하지만 원천 기술 부족으로 핵심 센서의 대부분을 수입하고 있고 제조공정이 복잡한 데다 생산비용도 비싸 산업 현장에서 활용하기가 쉽지 않은 단점이 상존해 왔다.
이에 연구팀은 실리콘 재료를 활용하고 반도체 공정 기술을 이용해 불소·불산 센서를 제작했다. 열증착 기법을 최적화해 다결정 불소·불산 감지막(poly LaF3)의 화학적·물리적 성질을 개선해 수중에 존재하는 불소와 불산을 우수한 검출한계(불소:1.9pbb, 불산: 4.5 ppb)로 검출하는 데 성공했다.
이는 기존의 다결정 감지막 기반의 불소센서 대비 검출한계가 약 20배 이상 향상된 것이다.
이 기술은 실리콘과 반도체 공정 기술을 활용했기 때문에 대량 생산이 쉽고, 0.2㎟의 작은 크기여서 초소형 센서와 모바일 센서로 개발 가능하다는 장점도 있다.
뿐만 아니라 불산을 5초 만에 감지할 수 있어 산업 현장에서 검출 센서로 바로 활용할 수 있을 것으로 전망되고 있다.
이 연구결과는 센서 분야 저명 학술지인 ‘센서와 작동기 B: 화학(Sensors and Actuators B: Chemical)’ 온라인판 최근호에 게재됐다.
이 연구는 과학기술정보통신부 정보통신기술진흥센터(IITP) ICT명품인재양성사업의 지원으로 수행됐다.
연구를 주도한 김기현 교수는 “개발된 센서기술은 작게 만들 수 있는 데다 기존의 불소·불산 센서 대비 약 10% 수준으로 가격 절감도 예상돼 상용화 가능성이 매우 높은 기술”이라며 “이번 연구결과가 유독물질인 불소·불산의 유출을 산업 현장에서 조기 감지하는 기술을 국산화하고 안전한 산업환경을 구축하는 계기가 될 것으로 기대한다”고 말했다.
[email protected]
불소와 불산은 철강과 화학, 반도체, 디스플레이 등 다양한 산업 전반의 생산 공정에서 핵심 물질로 활용되고 있지만 대표적인 유독물질이기도 하다.
지난 2012년 구미의 불산 누출사고는 인명 피해는 물론 반경 700m 이내 지역이 초토화되는 무서운 결과를 초래했다.
이처럼 불소·불산은 누출되자마자 바로 조치해야 확산을 막을 수 있기 때문에 적은 양의 노출도 바로 감지할 수 있는 민감한 센서 개발이 꼭 필요하다는 지적을 받아 왔다.
그 동안 국내에서는 무색무취로 조기 감지가 쉽지 않은 불소와 불산을 감지하기 위해 다결정 감지막과 산화물 반도체 소자를 활용했다.
하지만 원천 기술 부족으로 핵심 센서의 대부분을 수입하고 있고 제조공정이 복잡한 데다 생산비용도 비싸 산업 현장에서 활용하기가 쉽지 않은 단점이 상존해 왔다.
이에 연구팀은 실리콘 재료를 활용하고 반도체 공정 기술을 이용해 불소·불산 센서를 제작했다. 열증착 기법을 최적화해 다결정 불소·불산 감지막(poly LaF3)의 화학적·물리적 성질을 개선해 수중에 존재하는 불소와 불산을 우수한 검출한계(불소:1.9pbb, 불산: 4.5 ppb)로 검출하는 데 성공했다.
이는 기존의 다결정 감지막 기반의 불소센서 대비 검출한계가 약 20배 이상 향상된 것이다.
이 기술은 실리콘과 반도체 공정 기술을 활용했기 때문에 대량 생산이 쉽고, 0.2㎟의 작은 크기여서 초소형 센서와 모바일 센서로 개발 가능하다는 장점도 있다.
뿐만 아니라 불산을 5초 만에 감지할 수 있어 산업 현장에서 검출 센서로 바로 활용할 수 있을 것으로 전망되고 있다.
이 연구결과는 센서 분야 저명 학술지인 ‘센서와 작동기 B: 화학(Sensors and Actuators B: Chemical)’ 온라인판 최근호에 게재됐다.
이 연구는 과학기술정보통신부 정보통신기술진흥센터(IITP) ICT명품인재양성사업의 지원으로 수행됐다.
연구를 주도한 김기현 교수는 “개발된 센서기술은 작게 만들 수 있는 데다 기존의 불소·불산 센서 대비 약 10% 수준으로 가격 절감도 예상돼 상용화 가능성이 매우 높은 기술”이라며 “이번 연구결과가 유독물질인 불소·불산의 유출을 산업 현장에서 조기 감지하는 기술을 국산화하고 안전한 산업환경을 구축하는 계기가 될 것으로 기대한다”고 말했다.
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