반도체 '초순수' 국산화 코앞…환경부 "수질·성능 검증 중"

기사등록 2024/01/17 10:18:57

최종수정 2024/01/17 10:37:28

설계·시공·장비 국산화한 실증플랜트 구축 완료

"시설 공정률 85% 정도 진행…내년까지 검증"

[서울=뉴시스] 추상철 기자 = 한화진 환경부장관이 26일 오후 경북 구미시 소재 SK실트론을 방문해 반도체 웨이퍼 제조용 초순수 생산 국산화를 위한 실증플랜트 구축현황을 점검하고 있다. (사진= 환경부 제공) 2022.07.26. photo@newsis.com *재판매 및 DB 금지
[서울=뉴시스] 추상철 기자 = 한화진 환경부장관이 26일 오후 경북 구미시 소재 SK실트론을 방문해 반도체 웨이퍼 제조용 초순수 생산 국산화를 위한 실증플랜트 구축현황을 점검하고 있다. (사진= 환경부 제공) 2022.07.26. [email protected] *재판매 및 DB 금지
[세종=뉴시스]성소의 기자 = 반도체 생산 공정의 핵심 원료인 '초순수(初純水)' 국산화를 위해 현재 수질·성능 검증 작업이 이뤄지고 있는 것으로 파악됐다.

17일 이주환 국민의힘 의원실이 환경부로부터 받은 자료에 따르면 현재 경북 구미의 SK실트론 2공장에 반도체용 초순수 실증플랜트가 설치돼 설계·운영·시공 기술을 국산화하는 작업이 이뤄지고 있다.

초순수(初純水)란 공정을 통해 오염 물질을 모두 제거한 물을 뜻한다. 반도체 웨이퍼의 불순물을 제거하는 데 활용된다. 앞서 환경부는 반도체 산업 육성에 힘을 보태겠다 초순수 국산화 계획을 밝힌 바 있다.

초순수 실증플랜트는 설계·시공은 국산으로 하고 장비는 외산을 사용하는 1단계와 설계·시공·장비까지 모두 국산화한 2단계로 나뉘어있다.

환경부에 따르면 지난해 11월 2단계 플랜트까지 구축이 완료됐으며 현재 수질 및 성능 검증이 이뤄지고 있다. 2단계 시설 공정률은 약 85% 정도 진행됐고 내년까지 수질 분석과 성능 검증을 진행한다고 한다.

구체적으로 플랜트 안정성을 확보하기 위해 공정 순서별로 전기, 통신 장치 등의 작동 여부를 테스트하고 공정 내 오염물 세척 상태와 누수 여부 등을 확인 중이다.

또 실시간 수질 계측기를 활용해 공정별 수질과 최종 생산수 수질을 확인하고 있으며, 극미량 분석을 위해 외국 초순수 전문 기관에 수질 의뢰도 추진 중이다.

다만 국산화된 초순수로 실제 웨이퍼를 생산하는 시점에 대해서는 관련 기업과 협의해서 정할 계획이라고 밝혔다. 환경부 관계자는 "빠르면 올해 하반기 활용된다는 건 환경부 공식 입장은 아니다"고 설명했다.

환경부는 이번 초순수 국산화 연구과제가 종료되면 1, 2단계 실증플랜트의 소유권을 SK실트론에 이전한다는 계획이다.

환경부는 "내후년에는 추가적인 초순수 국산화 연구에 착수해 보다 많은 국내 초순수 장치 기업에게 기회를 제공할 계획"이라고 밝혔다.


◎공감언론 뉴시스 [email protected]
button by close ad
button by close ad

반도체 '초순수' 국산화 코앞…환경부 "수질·성능 검증 중"

기사등록 2024/01/17 10:18:57 최초수정 2024/01/17 10:37:28

이시간 뉴스

많이 본 기사

기사등록