반도체·디스플레이 공정용 세라믹 소재·부품 평가 기반 구축
이번 '플라즈마 공정용 세라믹 소재·부품 내플라즈마 특성 데이터 개발 및 인공지능(AI) 기반 공동연구·활용 플랫폼 구축을 위한 협약'은 반도체·디스플레이 제조공정에 활용되는 세라믹의 플라즈마 내구성과 반응특성을 데이터로 확보해 표준화하고 공동활용키 위해서다.
반도체·디스플레이 공정에서는 플라즈마로 소재를 깎거나 증착하는 과정이 반복되며 이 과정에서 공정장비 내부의 세라믹 소재·부품은 고에너지 플라즈마에 장시간 노출되기 때문에 소재의 안정적인 성능 유지에 대한 평가 및 예측기술이 중요하다.
특히 세라믹 소재·부품의 내플라즈마 특성은 공정안정성, 장비수명, 제품품질과 밀접하게 연결돼 있어 플라즈마 환경에서 소재에 대한 데이터 기반 평가체계 구축이 필요하다.
내플라즈마는 소재나 부품이 플라즈마 환경에 노출됐을 때 부식, 마모, 성분 변화 등을 견디며 성능을 유지하는 특성을 말한다.
이날 협약을 통해 두 기관은 ▲세라믹 내플라즈마 특성 데이터 확보 및 데이터 기반 공동활용 플랫폼 구축 ▲세라믹 소재·부품 공동연구사업 발굴 및 추진 ▲연구자료·정보 공유와 연구 인프라 공동활용 등에서 협력키로 했다.
협약에 따라 핵융합연은 플라즈마 연구와 데이터 해석 역량을 바탕으로 세라믹 소재·부품의 플라즈마 반응 특성 분석에 협력하고 세라믹기술원은 소재·부품의 시험·분석·평가 및 표준화 역량을 바탕으로 소재 평가 기반 마련을 지원하게 된다.
이를 통해 국가기술표준원의 국가참조표준센터를 통한 플라즈마 공정용 세라믹 소재·부품의 내플라즈마 특성 국가참조표준 등록을 추진하고 반도체·디스플레이 산업현장에서 활용 가능한 평가·분석체계로 발전시켜 나갈 계획이다.
핵융합연 오영국 원장은 "플라즈마 공정의 고도화와 첨단 제조산업의 경쟁력 강화를 위해서는 높은 신뢰성을 갖는 소재 데이터와 평가기반이 중요하다"면서 "이 협약으로 AI 기반 데이터 활용기술을 고도화해 첨단 소재·부품 산업의 혁신과 기술 경쟁력 강화에 기여할 것"이라고 말했다.
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