[서울=뉴시스]이지용 기자 = 삼성전자 화성사업장에서 화재가 발생했으나 인명 피해나 생산 차질 없이 사태가 마무리됐다.

24일 업계에 따르면 이날 오전 9시58분께 경기 화성시 반월동 화성사업장 연구동에서 화재가 발생했다.

불은 삼성전자 자체 소방대에 의해 10여분 만에 꺼졌으며 이후 소방 당국이 출동, 안전 조치를 취했다. 발화 당시 건물에 있던 삼성전자 직원 120여명이 대피했으며, 확인된 인명 피해는 없다. 반도체 생산라인도 화재의 영향을 받지 않아 정상 가동했다.

이번 화재는 펌프 장비의 탄화 현상으로 인해 발생한 것으로 알려졌다. 펌프 장비는 반도체 제조설비의 진공 상태를 만들기 위해 공기를 흡입하는 역할을 한다. 탄화는 화학적 변화에 의해 탄소로 변화하는 현상인데, 일부 부품이 노후화하면서 불에 타기 상태가 된 것으로 보인다.

소방 당국과 사측은 더 구체적인 화재 원인을 찾기 위해 세부조사를 벌이고 있는 것으로 전해졌다. 다만 삼성전자 내부에서는 화재 당시 즉각적인 대피 방송이 나오지 않아 사태를 바로 알지 못했다는 일부 직원들의 목소리도 나오고 있다.

한편, 이번에 화재가 난 연구동은 D램과 낸드플래시 등 메모리 신제품을 연구하고 테스트하는 곳이다.

삼성전자 관계자는 "해당 장비에서 탄화가 일시적으로 발생해 연기가 발생했다"며 "곧바로 진화해 상황이 종료됐다"고 전했다.


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