[천안=뉴시스]최영민 기자 = 한국기술교육대학교가 19일 교내 산학협력관에서 나노·원자 수준의 초정밀 미세구조 분석이 가능한 '300kV 수차보정 투과전자현미경(Double Cs-TEM)' 도입 기념식을 개최했다고 밝혔다.

이날 기념식은 한국기술교육대 공용장비센터가 약 20여년간 다져온 분석 인프라를 바탕으로 원자 단위 정밀 분석 역량을 대폭 확충하고, 이를 연계한 반도체 후공정 전문 연구지원 거점 센터 출범을 알리기 위해 마련됐다.

이번에 새로 도입된 ‘300kV 수차보정 투과전자현미경’은 네덜란드 써모피셔사이언티픽(Thermo Fisher Scientific)사의 최고 등급 전자현미경 장비다.

이번 장비 구축은 2024년 8월 선정된 산업통상자원부 산업혁신기반구축 고도화 사업의 일환으로 추진됐으며, 전체 사업비 94억원(국비 70억원, 민간 대응금 24억원) 중 약 45억원(국비 39억원 등)의 예산이 집중 투입됐다고 학교측은 전했다.

가속전압 300kV 전자총에서 방출된 전자가 시료의 원자 구조와 상호작용해 형성하는 회절 및 투과 이미지를 통해 나노미터를 넘어 원자 수준까지 관찰할 수 있다.

특히 에너지 분산형 X-선 분광기(EDS)가 탑재돼 나노 구조 시료의 정밀 성분 분석과 불량 원인 규명이 가능하다. 이에 따라 반도체·디스플레이 소재와 박막뿐만 아니라 금속, 섬유, 지질, 바이오, 환경, 에너지, 화학 등 미래 신소재 개발에 필수적인 내부 미세구조 분석을 지원한다.

또 공용장비센터 내 기존 집속이온빔(FIB) 장비와 연계한 '원스톱(One-Stop) 시료 전처리-초정밀 분석 프로세스'를 구축해, 시료 변질 없이 신속하고 정확한 분석 결과를 제공함으로써 연구 및 기업 지원 속도를 획기적으로 높일 전망이다.

대학 측은 도입한 투과전자현미경을 다양한 분석 결과를 종합적으로 해석해 기업의 소재·제품 개발 과정에서 발생하는 문제의 원인을 밝히고 해결 방향을 지원하는 데 활용할 방침이다.

남병욱 공용장비센터장은 "지난 20여년간 축적해 온 소재 분석 기반 위에 최고 성능의 300kV 수차보정 투과전자현미경이 도입되면서 글로벌 수준의 분석 역량을 확보하게 됐다"며 "사업을 이끌어준 진경복 교수와 관계자분들의 노고에 깊이 감사드린다"고 전했다.

유길상 총장은 "첨단 300kV 수차보정 투과전자현미경이 대학 교육과 연구 역량을 한층 끌어올리고 산업현장에 더 기여할 수 있는 새로운 도약의 발판이 되길 기대한다"고 말했다.


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