[창원=뉴시스]홍정명 기자 = 국립창원대학교는 기계공학대학 스마트제조융합과 및 스마트제조융합협동과정 조영태 교수 연구팀이 대한기계학회(KSME)와 세메스(SEMES) 공동 주최 아이디어 공모전 '제11회 KSME-SEMES 오픈 이노베이션 챌린지' 전문가 그룹 부문 금상 수상과 함께 상금 800만원을 받았다고 3일 밝혔다.

KSME-SEMES 오픈 이노베이션 챌린지는 학계의 창의적 아이디어를 산업현장의 미해결 과제와 연결해 기업에 새로운 솔루션을 제시하는 것을 목표로 한다.

창원대 연구팀은 조영태 지도교수와 스마트제조융합협동과정의 윤채혁 석·박사통합과정, 윤성민 윤서나 박서림 김명서 한유주 박사과정, 김영재 학·석사연계과정, 김동주 학사과정 학생으로 구성됐다.

연구팀은 '저점착 오가노겔 표면을 이용한 웨이퍼 세정 챔버 벽면 비산·재오염 방지 기술'을 주제로 아이디어를 제안해 금상 수상의 영예를 안았다.

제안 기술의 핵심은 웨이퍼 세정 챔버 벽면에 저점착 오가노겔 기반의 미끄러운 표면 적용이다.

웨이퍼의 고속회전 과정에서 튀어오른 세정액 액적이 벽면에 충돌하더라도 잔류하지 않고 곧바로 흘러내리도록 유도해 벽면에서의 2차 비산과 액적 잔류로 인한 웨이퍼 재오염을 동시에 억제한다.

이에 따라 챔버 세정 주기를 연장하고 공정 수율을 높일 수 있을 것으로 기대된다.

조영태 교수는 "이번 수상은 그동안 축적해 온 스마트제조 분야 연구 역량과 학생들의 도전정신이 만들어낸 결실"이라며 "학문적 성과가 산업 현장의 실질적 혁신으로 이어질 수 있도록 연구를 확대해 나가겠다"고 소감을 전했다.


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