[서울=뉴시스] 김경택 기자 = 전자현미경(SEM) 기반 융복합 산업장비 전문기업 코셈은 최근 산업통상자원부로부터 고성능 이온건 기술에 대한 국가 공인 신기술(NET) 인증을 획득했다고 18일 밝혔다. 회사는 이를 적용한 차세대 융복합 장비 'CP-SEM'을 상용화할 예정으로 이를 통해 반도체·이차전지 등 고부가가치 산업 진입 확대에 나선다는 목표다.

회사 측에 따르면 이번에 NET 인증을 획득한 기술은 '단면 및 표면 폴리싱이 가능한 CP-SEM(고성능 이온밀러 결합 주사전자현미경)용 이온건 기술'이다. 코셈은 독자적인 자속(Magnetic Flux) 설계를 통해 플라즈마 생성 효율과 이온빔 전류 밀도를 극대화했으며 챔버 도어 연동형 가스관 접속 구조 등 차별화된 설계를 적용해 높은 신뢰성과 공정 안정성을 구현했다.

특히 반도체 공정용 고성능 이온건 시장은 그동안 미국의 써모피셔(Thermo Fisher Scientific) 등 소수 글로벌 기업이 주도해 왔다. 코셈은 국산화를 통해 해외 의존도를 낮추고 국내 반도체 장비 공급망 안정성과 산업 생태계 경쟁력 강화에 기여할 것으로 기대된다고 설명했다.

이준희 코셈 대표는 "이번 NET 인증은 코셈의 이온건 원천 기술 경쟁력과 양산 적용 가능성을 공식적으로 인정받았다는 점에서 의미가 크다"며 "보급형 전자현미경 시장을 넘어 반도체 공급망 진입과 하이엔드 분석 장비 매출 확대를 통해 기업 가치 제고에 속도를 내겠다"고 말했다.


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