[수원=뉴시스] 박상욱 기자 = 반도체 증착장비 제조기업 에이에스엠(ASM)이 8일 화성 동탄에서 혁신제조센터 준공식을 열었다.

경기도에 따르면 지난 2023년 5월 동탄첨단산업단지에서 공사를 시작한 에이에스엠 혁신제조센터는 기존 시설 바로 옆 7400㎡(2200평) 규모 부지에 1362억원을 투입해 원자층 증착(ALD) 및 플라즈마원자층증착(PEALD) 장비의 혁신 제조시설을 확장했다. 2019년 870억원을 투자한 이후 투자액을 추가한 증액 투자다.

도는 지난 2022년부터 글로벌 지사 간 투자유치 경쟁에서 싱가포르·미국을 제치고 증액 투자유치에 성공했다. 센터를 통해 장비 연구는 2배, 제조 기능은 기존 시설의 3배로 확대해 국내·외 반도체 기업에 증착장비를 공급할 계획이다.

에이에스엠의 경기도 투자는 전 세계에 진출한 에이에스엠 시설 가운데 유럽 지역을 제외하고 유일하게 연구개발 기능과 제조시설이 결합된 시설이다. 에이에스엠은 2004년 한국의 PEALD 전문 기업인 지니텍코리아(Genitech Korea)를 인수한 이후 한국에서 PEALD 분야에 특화해 왔다.

에이에스엠 코리아는 지속적으로 국내 생산에 필요한 소재와 부품 중 대부분을 경기도 중소기업과 협업해 공급받을 계획이다.

고영인 경제부지사는 "에이에스엠을 비롯해 기존 반도체 생산 단지, 인근 소부장 기업과 팹리스 기업들이 연계되면 경기도는 명실상부한 세계적 반도체 메카로 완성될 것"이라며 "경기도가 모든 힘을 기울여서 돕겠다"고 말했다.


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