[서울=뉴시스] 이현주 기자 = 삼성전자 자회사 전직 연구원 등이 중국으로 넘긴 '초임계 세정 장비'를 두고 반도체 기술 유출에 대한 우려가 커지고 있다.

17일 업계에 따르면 해당 기술은 반도체 생산 장비를 만드는 삼성전자 자회사인 세메스가 2018년 세계 최초로 개발, 삼성전자에만 납품했다. SK하이닉스를 포함한 다른 경쟁사들도 관심을 보였을 만큼 혁신적인 장비로 평가받고 있다.

초임계는 커피 원두에서 카페인을 제거하거나, 참깨에서 참기름을 추출하는 등 우리 주변에서도 익숙하게 만날 수 있는 기술이다.

초임계 세정 장비는 액체와 기체를 구분할 수 없는 시점의 '초임계' 상태의 이산화탄소를 이용해 반도체 세정용 화학물질을 건조하는 최첨단 장비다.

이번에 유출 우려가 나오는 기술은 물이 아닌 초임계 이산화탄소로 반도체 기판을 세정, 손상을 최소화해 초미세 반도체의 불량률을 줄이는 핵심 기술로 꼽힌다. 이에 삼성전자와 세메스는 개발 인력은 전직을 금지하는 약정까지 맺은 것으로 알려졌다.

이처럼 높은 보안으로 도면 훔치기나 인력 빼가기가 어려워지자, 이번에 새로운 수법이 동원된 셈이다. 부품 협력사들과 접촉해 '공정' 전체를 통째로 복사하다시피 한 것으로 전해졌다.

앞서 수원지검 방위사업·산업기술범죄형사부는 부정경쟁방지 및 영업비밀보호에 관한 법률 위반 등 혐의로 세메스 전직 연구원 2명과 부품 협력사 직원 2명 등 총 4명을 구속기소했다.

이들은 2018년 초임계 세정 장비를 만들어줄 수 있다며 중국에 있는 연구소와 접촉해 18억여원을 받은 혐의로 기소됐다. 실제 초임계 세정 장비를 만들어 중국에 이를 납품한 혐의도 있는 것으로 전해졌다.

한편 삼성전자 측은 기술 유출 우려에 대해 "아직 수사가 진행 중인 상황"이라고 말을 아꼈다.


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