DGIST, 직접 광리소그래피 기술 개발…초고해상도 양자점 디스플레이 제작

기사등록 2025/09/01 09:10:36
[대구=뉴시스](왼쪽부터)DGIST 에너지공학과 이종수 교수, 이남지 석박사통합과정생, 최동현 박사과정생(사진=DGIST 제공) photo@newsis.com *재판매 및 DB 금지
[대구=뉴시스] 박준 기자 = 대구경북과학기술원(DGIST) 에너지공학과 이종수 교수 연구팀은 포토레지스트(감광막)를 사용하지 않고 빛만으로 양자점(QD)을 초고해상도로 패터닝하는 직접 광리소그래피(DOL) 기술을 개발했다고 1일 밝혔다.

이를 통해 연구팀은 고성능 QLED 제작에 필요한 크로스링커 선택 가이드라인까지 제시했다.

이번 성과는 마이크로 QLED, 초고해상도 디스플레이, 투명 전자소자, 차세대 이미지 센서 등 다양한 광전자소자에 활용될 수 있는 핵심 원천기술로 평가받고 있다.

양자점은 머리카락 굵기의 10만분의 1 수준인 초미세 반도체 입자로 크기에 따라 발광 색을 자유롭게 조절할 수 있어 색 재현력이 뛰어난 차세대 디스플레이 소재다.

그러나 기존 포토레지스트 기반 패터닝 공정은 복잡한 절차, 발광 성능 저하, 패턴 변형 등 한계가 있었으며 잉크젯 프린팅이나 마이크로콘택트 프린팅 역시 해상도와 정밀도에서 제약이 있었다.

연구팀은 이를 해결하기 위해 자외선에 반응하는 디아지린(diazirine) 기반 크로스링커 TDBA를 도입했다.

TDBA는 양자점 표면에 직접 결합할 수 있는 카복실산 작용기와 빛에 반응하는 디아지린 구조를 모두 갖추고 있어 빛 조사 한번으로 양자점과 화학적으로 결합하며 초미세 패턴을 형성한다.

이를 통해 약 2㎛(6350 DPI) 수준의 초고해상도 패턴 구현에 성공했으며 뛰어난 정밀도와 안정성도 확보했다.

또 패터닝 후 PETMP라는 티올(thiol) 기반 물질로 후처리해 양자점 표면 결함을 패시베이션(표면 보호막 처리)함으로써 양자효율(PLQY)을 추가로 향상시켰다.

이 과정을 거친 양자점을 발광층으로 적용한 QLED 소자는 최대 외부양자효율 10.3%, 최대 휘도 99,369 cd/㎡라는 우수한 성능을 기록했으며 R/G/B 양자점을 활용한 반투명 QLED에서도 양면 발광이 가능함을 입증해 투명 디스플레이 응용 가능성도 열었다.

연구팀은 제작 기술 개발에 더해, 크로스링커의 분자 구조가 양자점 발광 및 전기적 특성에 미치는 영향을 심층 분석했다.

양자역학 계산 기법인 밀도범함수 이론(DFT)을 활용해 황(S) 원자를 포함한 TBBT와 황이 없는 BPDT를 비교한 결과 BPDT가 더 높은 전도성을 나타내어 QLED 성능 향상에 유리하다는 사실을 밝혀냈다.

이는 향후 고해상도·고성능 양자점 디스플레이 제작에 최적의 소재를 선택하는 중요한 기준이 될 전망이다.

이종수 교수는 "이번 연구는 단순히 해상도를 높인 것을 넘어 양자점의 고유한 발광 특성과 전기적 특성을 유지하면서 안정적으로 제작할 수 있는 방법과 소재 선택 기준을 함께 제시했다"며 "AR·VR 등 차세대 디스플레이 상용화를 크게 앞당길 수 있을 것이다"고 말했다.

이번 연구는 한국연구재단 및 국가과학기술연구회의 지원을 받아 수행됐으며 양자점 전문기업 DCT, 한국기초과학지원연구원 채원식 박사팀이 공동 참여했다.

연구 성과는 재료화학 분야 권위 있는 학술지 나노 레터스(Nano Letters)와 ACS 나노(ACS Nano)에 각각 게재됐다.


◎공감언론 뉴시스 june@newsis.com